У адпаведнасці з розным спосабам падачы паветра тэхналогію ачысткі можна падзяліць на сістэму турбулентнага патоку і сістэму ламінарнага патоку.(1) Сістэма турбулентнасці (рознакіраваная манера): сістэма турбулентнага патоку на ўваходзе івысокаэфектыўны фільтру столі, зваротнае паветра з боку рота ў ніжняй частцы або бакавой сценцы, фільтры і ачыстка паветра прасцейшыя, пашырэнне зручнае, кошт нізкі, але паветра змяняецца нязначна, звычайна 10 ~ 50 разоў/гадз, лёгка вырабіць віхравы ток, часціцы забруджвання могуць знаходзіцца ва ўнутраным патоку завесы віхравой завесы,забруджванне паветра, знізіць ступень ачысткі ў памяшканні.Прымяняецца толькі да ачышчальнай камеры класа NASA ад 10 000 да 10 000 000.(2) Сістэма ламінальнага патоку;Сістэма ламінарнага патоку выдаляе часціцы і пыл з аперацыйнай праз выхад зваротнага паветра з раўнамерным размеркаваннем і адпаведнай хуткасцю патоку.Там няма віхравых токаў, таму няма плаваючага пылу.Theпавялічваецца ступень ачысткіз павелічэннем часу замены паветра, і ён падыходзіць для 100-ўзроўневай аперацыйнай у адпаведнасці са стандартам NASA.Алефільтрхуткасць пашкоджання ўшчыльнення адносна вялікая, а кошт вышэй.
Час публікацыі: 2 лістапада 2022 г